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07 décembre 2015

MEMS : première mondiale au Leti

 

Pour la première fois, le Leti a produit des accéléromètres de type MEMS sur plaques de 300 mm. Cette prouesse ouvre la voie à la réduction du coût de fabrication de ces microsystèmes dont la demande va croissant pour faire notamment face à l’essor de l’internet des objets. Celui-ci stimule en effet le marché des MEMS qui jouent un rôle essentiel dans la capture et la numérisation des données du monde réel à partager sur internet. Grâce à sa technologie FDSOI, le Leti parvient à réduire de 40% la consommation énergétique des puces. Il offre également de nouvelles perspectives pour les industriels du secteur des MEMS en démontrant, pour la première fois, que la fabrication d’accéléromètres de type M&NEMS (une catégorie de MEMS intégrant des nano-objets) sur plaques de 300 mm est possible. La quasi-totalité de la centaine d’étapes de fabrication de ces objets a été réalisée sur la plateforme 300 mm du Leti. Les tests électriques menés sur la première plaque ont montré des résultats très encourageants.

CONTACT : Vincent Coronini : 04 38 78 44 30 (Grenoble), vincent.coronini@cea.fr

 

 

 

Lettre de l'Economie a grenoble et en Isère